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干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。

超低震動干式液氦光學液氦低溫恒溫器，使用氣體導熱隔震，實現(xiàn)樣品臺納米級的機械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動影響，產(chǎn)品設(shè)計安裝在光學隔震平臺上。

室溫自動探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導體/微電子， 電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

手動探針臺系統(tǒng)可定制手動探針臺 系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等。

SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。

ZP3-4 微納探針臺探針數(shù)量：4個探頭，每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度：每個探頭獨立驅(qū)動（X、Y、Z三自由度）。