布魯克?ContourX-500：高效三維光學(xué)輪廓儀

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布魯克?ContourX-500：高效三維光學(xué)輪廓儀
在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代，對(duì)于高精度表面測(cè)量的需求愈發(fā)迫切。無(wú)論是精密制造、半導(dǎo)體加工，還是科研領(lǐng)域的微觀研究，準(zhǔn)確獲取表面的三維信息至關(guān)重要。而 ContourX-500 三維光學(xué)輪廓儀，正以其出色的性能，成為眾多行業(yè)的得力助手。

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更新時(shí)間：2026-01-05

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：291

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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布魯克ContourX-500：高效三維光學(xué)輪廓儀

在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代，對(duì)于高精度表面測(cè)量的需求愈發(fā)迫切。無(wú)論是精密制造、半導(dǎo)體加工，還是科研領(lǐng)域的微觀研究，準(zhǔn)確獲取表面的三維信息至關(guān)重要。而 ContourX-500 三維光學(xué)輪廓儀，正以其出色的性能，成為眾多行業(yè)的得力助手。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材

ContourX-500 整體采用了堅(jiān)固耐用的材質(zhì)打造，確保在不同環(huán)境下都能穩(wěn)定運(yùn)行。其光學(xué)部件經(jīng)過(guò)精心挑選與組裝，搭載了雙色 LED 照明系統(tǒng)，能夠提供穩(wěn)定且均勻的光源，為高質(zhì)量的測(cè)量成像奠定基礎(chǔ)。儀器配備了 500 萬(wàn)像素的攝像頭，可選用單色（標(biāo)準(zhǔn)配置）或彩色（可選配置），搭配 1200x1000 數(shù)據(jù)陣列，有效降低噪聲、擴(kuò)大視場(chǎng)并提高橫向分辨率，讓您清晰捕捉表面的每一處細(xì)節(jié)。

產(chǎn)品性能

高分辨率測(cè)量

ContourX-500 具備與放大倍率無(wú)關(guān)的優(yōu)秀 Z 軸分辨率，垂直分辨率小于 0.01nm ，能夠精準(zhǔn)分辨表面極微小的高度差異，即使是納米級(jí)別的起伏也能清晰呈現(xiàn)。水平分辨率可達(dá) 0.38μm min（Sparrow 準(zhǔn)則），若搭配 AcuityXR® ，更是能低至 0.13μm ，為您提供超高清晰度的表面圖像。

優(yōu)良的自動(dòng)化功能

該儀器擁有高級(jí)自動(dòng)化功能，包含帶編碼器的 XY 軸樣品臺(tái)，可精確控制樣品位置，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化掃描。自動(dòng)測(cè)頭傾斜功能更是一大亮點(diǎn)，布魯克專有的自動(dòng)傾斜光學(xué)測(cè)頭，能在一定角度范圍內(nèi)自動(dòng)測(cè)試表面特征，減少跟蹤誤差。同時(shí)，自動(dòng)亮度調(diào)整功能確保在不同樣品反射率條件下，都能獲取清晰的圖像。

穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境保障

儀器采用了緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)，集成式氣浮隔震能夠有效隔絕外界震動(dòng)干擾，為測(cè)量提供穩(wěn)定的環(huán)境，保障了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性與可重復(fù)性。即使在較為復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中，也能穩(wěn)定發(fā)揮出色性能。

參數(shù)表

參數(shù)	詳情
最大掃描量程	≤10 mm
垂直分辨率 1	＜0.01 nm
水平分辨率	0.38 μm min（Sparrow 準(zhǔn)則）；0.13 μm（with AcuityXR®）
臺(tái)階高度準(zhǔn)確性 2	＜0.75%
臺(tái)階高度重復(fù)性	＜0.1% 1 sigma repeatability
最大掃描速度	37 μm/sec（with standard camera）
樣品反射率范圍	0.05% 到 100%
最大樣品傾角	≤40°（shiny surfaces）；≤87°（rough surfaces）
樣品高度	≤100 mm（4 in.）
XY 樣品臺(tái)	150 mm（6 in.）encoded automation stage
Z 軸聚焦	Automated
傾斜功能	±5° automated in head
光學(xué)計(jì)量模塊	Patented dual-color LED illumination；Single-objective adapter；Optional automated or manual turret；Optional motorized or manual discrete modules
物鏡	Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X；LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X；TTM: 2X, 5X, 10X, 20X；Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X
放大器	0.55, 0.75X, 1X 1.5X, 2X
攝像頭	Monochrome（standard）or color（optional）；5 MP with 1200x1000 data array
軟件系統(tǒng)	Vision64 and VisionXpress Analysis Software on Windows 10 OS；64-bit
自動(dòng)測(cè)量功能	Advanced automated stitching, scatter, and grid automation standard with encoded motorized XY stage；auto focus；auto intensity；auto saving；on-fly analysis；and recording into database
校準(zhǔn)	Via NIST/PTB traceable step height and lateral ruler standards
設(shè)備尺寸	480 mm（W）x 604 mm（D）x 700 mm（H）)
重量	70 kg
保修期	12 months

用途

精密加工表面檢測(cè)

在精密機(jī)械加工領(lǐng)域，可用于檢測(cè)零部件表面的加工精度，如模具表面的粗糙度、平整度等，幫助制造商嚴(yán)格把控產(chǎn)品質(zhì)量，確保產(chǎn)品符合高精度的設(shè)計(jì)要求。

半導(dǎo)體工藝制程

對(duì)于半導(dǎo)體晶圓的表面測(cè)量、芯片制造過(guò)程中的微結(jié)構(gòu)檢測(cè)等，ContourX-500 能夠提供關(guān)鍵的表面數(shù)據(jù)，助力半導(dǎo)體企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)工藝，提升產(chǎn)品良品率。

眼科與 MEMS 器件研發(fā)表征

在眼科鏡片的表面質(zhì)量檢測(cè)以及微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件的微觀結(jié)構(gòu)分析中，其高分辨率與準(zhǔn)確的測(cè)量能力，為科研人員提供了可靠的數(shù)據(jù)支持，推動(dòng)相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品研發(fā)。

使用說(shuō)明

準(zhǔn)備工作：將儀器放置在平穩(wěn)、無(wú)震動(dòng)的工作臺(tái)上，接通電源并開(kāi)啟設(shè)備。確保樣品表面清潔，無(wú)雜質(zhì)、油污等影響測(cè)量的物質(zhì)。

樣品放置：通過(guò)帶編碼器的 XY 軸樣品臺(tái)，將樣品準(zhǔn)確放置在測(cè)量位置。對(duì)于需要傾斜測(cè)量的樣品，可通過(guò)自動(dòng)測(cè)頭傾斜功能，設(shè)置合適的傾斜角度。

參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品的特性與測(cè)量需求，在 Vision64 和 VisionXpress 分析軟件中設(shè)置相關(guān)參數(shù)，如掃描量程、分辨率、測(cè)量模式等。軟件提供了豐富的預(yù)設(shè)選項(xiàng)，也支持用戶自定義設(shè)置。

測(cè)量操作：點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量按鈕，儀器將自動(dòng)進(jìn)行掃描，獲取樣品表面的三維數(shù)據(jù)。在測(cè)量過(guò)程中，可實(shí)時(shí)觀察測(cè)量進(jìn)度與圖像。

數(shù)據(jù)分析：測(cè)量完成后，軟件會(huì)自動(dòng)生成詳細(xì)的測(cè)量報(bào)告，包含各種表面參數(shù)。用戶可利用軟件中的多種分析工具，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步處理與分析，如粗糙度計(jì)算、關(guān)鍵尺寸測(cè)量等。

ContourX-500 三維光學(xué)輪廓儀以其出色的性能、豐富的功能，為眾多行業(yè)的表面測(cè)量需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。無(wú)論是追求高精度的工業(yè)生產(chǎn)，還是探索微觀世界的科研工作，它都能成為您值得信賴的伙伴。

布魯克ContourX-500：高效三維光學(xué)輪廓儀

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