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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀S?neoxSensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析
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Sensofar光學(xué)輪廓儀非接觸式微觀觀測(cè)新工具 Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術(shù)融合在同一平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場(chǎng)景測(cè)量。
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Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析
型號(hào)對(duì)比顯示，基礎(chǔ)版縱向分辨率0.1nm，橫向分辨率0.1μm，最大Z掃描范圍10mm；進(jìn)階版支持五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)與AI路徑規(guī)劃，適用于光學(xué)鏡片面型誤差分析；定制版可拓展至15kg承載重量與特殊環(huán)境控制。各型號(hào)均支持環(huán)境溫度18-28℃、濕度30-65%工作，無需恒溫恒濕設(shè)備。平移臺(tái)移動(dòng)精度0.1μm，閉環(huán)控制系統(tǒng)確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作下垂直精度變化≤0.3nm。
儀器機(jī)身采用航空級(jí)鋁合金框架，內(nèi)部光路使用低膨脹玻璃陶瓷基座，保證溫度波動(dòng) <?0.1?°C 時(shí)測(cè)量誤差不變。光源為寬譜白光 LED + 可選綠光 LED，配合偏振分離模塊實(shí)現(xiàn)透明薄膜雙面測(cè)量。FLCOS 微顯示陣列采用鐵電液晶技術(shù)，壽命 >?20?000?h，功耗低于 30?W。
關(guān)鍵技術(shù)與性能指標(biāo)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) | 說明 |
|---|---|---|
| 橫向分辨率 | 0.10?µm（共聚焦） | 采用 150×、NA?0.95 物鏡 |
| 縱向分辨率 | 0.1?nm（白光干涉） | 多步相位移算法 |
| 最大測(cè)量斜率 | 86° | 多焦面疊加技術(shù) |
| Z 軸行程 | ≥10?mm（閉環(huán)） | 全量程無縫拼接 |
| 掃描速度 | ≤3?mm?/?s | 高速數(shù)據(jù)采集 |
| 重復(fù)性 | ≤0.01?nm（RMS） | 通過內(nèi)部校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn) |
Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析
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