Sensofar S neox：潔凈室中的測(cè)量方案

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Sensofar S neox：潔凈室中的測(cè)量方案
半導(dǎo)體等行業(yè)的潔凈生產(chǎn)環(huán)境，對(duì)檢測(cè)設(shè)備有特殊要求，S neox系列中的潔凈室適配型號(hào)恰好滿足這類需求。

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更新時(shí)間：2026-01-23

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三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar S neox：潔凈室中的測(cè)量方案

Sensofar S neox：潔凈室中的測(cè)量方案

半導(dǎo)體等行業(yè)的潔凈生產(chǎn)環(huán)境，對(duì)檢測(cè)設(shè)備有特殊要求，S neox系列中的潔凈室適配型號(hào)恰好滿足這類需求。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，該型號(hào)的測(cè)量傳感器符合 ISO 1 級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，機(jī)身采用不銹鋼外殼，能最大限度減少顆粒排放，避免污染生產(chǎn)環(huán)境。整體結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)密封優(yōu)化，縫隙處采用防塵設(shè)計(jì)，減少灰塵進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部影響精度。操作面板采用防水防污材質(zhì)，便于在潔凈室中清潔維護(hù)。

性能方面，它通過(guò) SEMI S2、S8 等半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，以及 TüV 萊茵 land 認(rèn)證，適合半導(dǎo)體表征等嚴(yán)苛場(chǎng)景。延續(xù)的 “3-in-1" 技術(shù)能適配晶圓、顯示面板等不同樣品，亞納米級(jí)的測(cè)量能力可滿足精密檢測(cè)需求。搭配閉環(huán) XY 龍門(mén)設(shè)計(jì)，即使測(cè)量大尺寸樣品，也能保持穩(wěn)定表現(xiàn)。

用材上，除了核心光學(xué)部件的高純度玻璃與增透膜，設(shè)備內(nèi)部采用低揮發(fā)材質(zhì)，避免污染物釋放。機(jī)械傳動(dòng)部件經(jīng)過(guò)特殊潤(rùn)滑處理，減少顆粒產(chǎn)生，契合潔凈環(huán)境要求。

潔凈室適配參數(shù)簡(jiǎn)表

參數(shù)項(xiàng)	數(shù)值 / 特性
潔凈室等級(jí)	ISO Class 1 兼容
外殼材質(zhì)	不銹鋼（低顆粒排放）
行業(yè)認(rèn)證	SEMI S2、S8，TüV 認(rèn)證
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)	密封防塵優(yōu)化

該型號(hào)屬于 S neox Grand Format 系列，XY 軸行程 600×600mm，移動(dòng)速度 1m/s，適合大尺寸半導(dǎo)體晶圓、顯示面板檢測(cè)。使用時(shí)需遵循潔凈室操作規(guī)范，定期用專用清潔劑擦拭外殼，模塊維護(hù)需在潔凈工作臺(tái)進(jìn)行，確保設(shè)備與環(huán)境的兼容性。

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