Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀構(gòu)建了完善的型號(hào)體系，從基礎(chǔ)通用到定制，從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線，均有適配型號(hào)。整個(gè)系列以技術(shù)融合為核心，不同型號(hào)在配置、功能、適配場(chǎng)景上各有側(cè)重，形成從常規(guī)檢測(cè)到精密分析的完整解決方案。每個(gè)型號(hào)均保持共聚焦、白光干涉雙技術(shù)融合的核心優(yōu)勢(shì)，搭配 SensoSCAN 軟件系統(tǒng)，確?；A(chǔ)測(cè)量性能一致，同時(shí)通過硬件配置差異滿足多元需求，用戶可根據(jù)自身場(chǎng)景選擇適合的型號(hào)。
S neox 3 作為經(jīng)濟(jì)型型號(hào)，聚焦常規(guī)表面測(cè)量需求，配備 20× 共聚焦物鏡，檢測(cè)范圍 5μm-3mm，橫向分辨率與縱向分辨率能滿足塑料零件粗糙度篩查、金屬表面劃痕檢測(cè)等基礎(chǔ)場(chǎng)景。機(jī)身尺寸 600×500×750mm，結(jié)構(gòu)緊湊，適合中小型實(shí)驗(yàn)室或企業(yè)的桌面布局。
硬件配置上，它搭載 500 萬像素 CMOS 相機(jī)，數(shù)據(jù)傳輸速率 180fps，單次掃描時(shí)間約 3 秒，能平衡檢測(cè)效率與成本。XY 平臺(tái)行程 125×75mm，承載重量適中，防護(hù)等級(jí) IP54，可適應(yīng)一般實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。軟件方面，支持基礎(chǔ) ISO 參數(shù)計(jì)算與報(bào)告導(dǎo)出，內(nèi)置 10 余種通用檢測(cè)模板。
S neox 3 的優(yōu)勢(shì)在于性價(jià)比，維護(hù)成本較低，適合預(yù)算有限且以常規(guī)檢測(cè)為主的用戶，如小型制造企業(yè)的進(jìn)料檢驗(yàn)、高校基礎(chǔ)科研等場(chǎng)景。
S neox 5 定位多功能型，在基礎(chǔ)款基礎(chǔ)上升級(jí)核心配置，標(biāo)配 150× 高數(shù)值孔徑（NA 0.95）物鏡，橫向分辨率達(dá) 0.10μm，縱向分辨率進(jìn)入 0.1nm 量級(jí)，支持多焦面疊加技術(shù)，可測(cè)量 86° 的陡峭斜面，適合精密表面分析。
硬件新增五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)，A 軸可 360° 無限旋轉(zhuǎn)，定位重復(fù)性 10 角秒；B 軸傾斜范圍 - 30° 至 110°，分辨率 0.5 角秒，能實(shí)現(xiàn)軸對(duì)稱樣品的全方測(cè)量。搭載 AI 路徑規(guī)劃模塊，檢測(cè)效率提升 30%，支持多區(qū)域連續(xù)掃描與自動(dòng)對(duì)焦，適配半導(dǎo)體金線檢測(cè)、光學(xué)鏡片面型分析等場(chǎng)景。
軟件升級(jí)為完整版 SensoMAP，增加自動(dòng)缺陷檢測(cè)、多尺度視場(chǎng)融合功能，內(nèi)置 30 余種行業(yè)專用模板，支持與 SEM、AFM 等儀器的數(shù)據(jù)對(duì)接。S neox 5 適合對(duì)精度與功能有較高要求的用戶，如精密制造企業(yè)的過程質(zhì)檢、科研機(jī)構(gòu)的微觀結(jié)構(gòu)研究。
S neox Pro 作為全套配置旗艦型號(hào)，集合了系列所有功能，配備 500W 高功率 LED 光源與雙通道信號(hào)融合模塊，能應(yīng)對(duì)復(fù)雜樣品的多維度測(cè)量，如透明薄膜雙面檢測(cè)、多層材料形貌分析等。
硬件支持最大 1000 萬像素傳感器升級(jí)，圖像獲取時(shí)間縮短至 1.5 秒，配合高速 XY 平臺(tái)，可滿足工業(yè) 4.0 生產(chǎn)線的高速檢測(cè)需求。支持多種擴(kuò)展模塊，如高溫原位測(cè)量艙（最高 800℃）、無菌操作艙等，適配航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片檢測(cè)、醫(yī)療植入體分析等特殊場(chǎng)景。
軟件搭載 AI 分析插件與云端協(xié)同功能，可實(shí)現(xiàn)表面紋理自動(dòng)分類與多設(shè)備數(shù)據(jù)共享，符合 SEMI、ISO 13485 等多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)報(bào)告可直接用于國際認(rèn)證。S neox Pro 適合大型企業(yè)的生產(chǎn)線、國家ji科研實(shí)驗(yàn)室等對(duì)性能與擴(kuò)展性有ji致需求的場(chǎng)景。
專為大尺寸樣品設(shè)計(jì)的 S neox Grand Format，XY 移動(dòng)范圍達(dá) 600×600mm，可承載最大 300×300mm、高度 350mm 的樣品，經(jīng)認(rèn)證適用于半導(dǎo)體、顯示器、印刷電路板行業(yè)的大型面板檢測(cè)。
采用 0.65× 邁克爾遜物鏡與高性能 XY 平臺(tái)組合，能快速測(cè)量大尺寸樣品的平面度，兼顧橫向與縱向分辨率。支持自動(dòng)化生產(chǎn)線集成，配合 “樣品陣列" 功能，可完成多片面板的批量檢測(cè)，軟件內(nèi)置面板檢測(cè)專用算法，自動(dòng)計(jì)算平整度、劃痕數(shù)量等參數(shù)。
不同型號(hào)的 S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，通過精準(zhǔn)的定位與豐富的配置，為各行業(yè)用戶提供了適配的測(cè)量解決方案。
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